仪器名称：PLD进样室

仪器型号：定制

生产厂家：泊菲莱

产地：中国

仪器安置地点：江苏大学老图书415室

功能介绍：

用于PLD进样

参数指标：

1) 真空系统：机械泵+分子泵以保证理论最低真空度在~10^-5mbar。

2) 分子泵正常工作状态：转速稳定于1500r。

应用领域：

用于PLD，完成进样室和沉积室之间的样品传递。可用来制备金属、半导体、氧化物、氮化物、碳化物、硼化物、硅化物、硫化物及氟化物等各种物质薄膜，甚至还用来制备一些难以合成的材料膜，如金刚石、立方氮化物膜等。