仪器名称：反射式高能电子衍射仪
仪器型号：RDA-005G-DP
生产厂家：江苏苏美达仪器设备有限公司
产地：中国
仪器安置地点：江苏大学老图书415室
功能介绍：
反射式高能电子衍射(Reflection High-Energy Electron Diffraction,简称RHEED)是高能电子衍射的一种工作模式。它将能量为10～50keV的单电子束掠入射 (1°-3°)到晶体表面，其反射束带有晶体表面信息，并呈现于荧光屏。
参数指标：
1) 真空系统：机械泵+分子泵以保证理论最低真空度在~10-5mbar。
2) 分子泵正常工作状态：转速稳定于1500r。
3) 工作电压：20kV
4) 工作电流：1.6A
应用领域：
RHEED（反射高能电子衍射仪）是观察晶体生长最重要的实时监测工具之一。它可以通过非常小的掠射角将能量为10～30KeV的单能电子掠射到晶体表面，通过衍射斑点获得薄膜厚度，组分以及晶体生长机制等重要信息，是PLD等系统中监测薄膜表面形貌的一种标准化技术。可用来制备金属、半导体、氧化物、氮化物、碳化物、硼化物、硅化物、硫化物及氟化物等各种物质薄膜，甚至还用来制备一些难以合成的材料膜，如金刚石、立方氮化物膜等。
