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场发射扫描电子显微镜

发布:    日期:2023-05-31   点击:

场发射扫描电子显微镜

Field Emission Scanning Electron Microscope


仪器型号:Apreo S

生产厂家:Thermo Fisher Scientific

件:能谱仪-QUANTAX 200

附件厂家:Bruker

仪器所在单位:江苏大学化学化工学院

仪器安置地点:江苏大学化学化工学院115

联系人:鲁惠玲,孙林

电话:18896662558, 18352863609



技术指标

分辨率:0.7 nm (15kV)1 nm (1kV)0.8 nm(1kV,减速模式)

超低电压分辨率:0.9 nm (500V)

加速电压:200V-30kV连续可调

放大倍率:X 25 ~ X 1,000,000

高真空度: < 6.3 × 10-6   mbar72 小时抽气后)

探测系统:镜筒内BSE探头(T1)、镜筒内SE探头(T2)、常规SE探头 (ETD)、镜筒内顶位SE探头(T3)、红外CCD

聚焦:自动聚焦功能

能谱仪:能量分辨率127 eV,元素范围为B ~U92,制冷方式为电制冷

主要功能及应用

该仪器具有超高分辨率,能对各种固态样品表面形貌的二次电子像、背散射电子像观察及图像处理。扫描电子显微镜配合能谱仪,适合分析最广泛的样品范围:从传统的金属材料、断口和抛光断面,到不导电的软物质的微区形貌、成分和相分布分析,是研究材料结构与性能关系所不可缺少的重要工具。




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